公称寸法外径8 mmのマイクロ圧力センサは、空気力学のために流場分布を研究するために設計されており、モデルの寸法が厚いか、モデルの中空の実験モードに特に適している。従来の毛細管引出圧力用走査弁巡測方式は、毛細管の頻繁な音の損失によって測定された定常流場分布である。マイクロセンサを現場に直接配置する方法は、正確な動的流れ場分布を得ることができる。
CYG 507の圧力感受性素子は先進的なMEMS技術を用いて設計・製造されている。CAD技術を用いた感力構造とレイアウト設計は力学モデル、二島膜構造(低微圧)と梁膜島複合構造(超微圧)を最適化し、圧力感受性素子は低レンジ、高感度と優れた線形度の統一兼ね合いを実現し、応力相補設計と無応力マイクロカプセル化技術はレンジ下の良好な安定性を実現した。
CYG 507は表差圧型で、プローブ型とねじ取付式の2種類の外形がある。プローブ型製品のレンジ2.5 kpa以上の外径は6 mm、2.5 kpa以下のレンジの外径は8 mm、長さはすべて18 mm、ねじ型のねじはM 10×1である。外形は図面を参照。
CYG 507は、感知素子の裏面耐圧を採用しているため、優れた媒体互換性があります。CYG 507は準斉平管腔のないパッケージ設計を採用しているため、優れた動的特性があり、利用可能な周波数は最低レンジ500 paの品種でも1000 Hz以上に達することができる。
CYG 507の任意のレンジは0.5、1、1.6、2.5、4、10、16、25 kpaである。
1、性能指標パラメータ
| 指標/レベル | ひせんけいせいど ±%FS |
ヒステリシス反復性 %FS |
ゼロ温度係数 ×10-4FS /℃ |
かんどおんどけいすう ×10-4FS /℃ |
ゼロ時漂 <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.2 | 5 | 5 | 0.3 |
| JB | 0.2 | 0.2 | 3 | 3 | 0.2 |
2、フルレンジ出力:最小値20 mv典型値60 mv最大値100 mv
3、入出力インピーダンス:最小値2 kΩ典型値5 kΩ最大値8 kΩ
4、入力動作電流:2 mAまたは1.5 mA
5、動作温度範囲:-40℃~+105℃
6、補償温度範囲:-10℃~+60℃
7、過負荷能力:定格レンジの300%
8、外形寸法図:

